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- 2023-04-24 发布于北京
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本发明公开了一种六氟化硫分解产物检测用微型阵列式气体传感器，包括：基底、设置于所述基底上的多个气敏单元；所述多个气敏单元中的任意一个气敏单元由相邻气敏单元旋转预设角度得到。本发明提供的六氟化硫分解产物检测用微型阵列式气体传感器，基于阵列的半导体金属氧化物气敏材料多个点位对六氟化硫分解产物进行检测，然后分析每个点以及多点结合等方式组合分析，最终生成检测结果。本发明具有操作简单、成本小、操作简单，检测过程稳定的优点。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114018989 A
(43)申请公布日 2022.02.08
(21)申请号 202111308306.X
(22)申请日 2021.11.05
(71)申请人 广东电网有限责任公司
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