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一种体垂直各向异性的亚铁磁合金薄膜及其制备方法.pdfVIP

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  • 2023-04-24 发布于北京
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一种体垂直各向异性的亚铁磁合金薄膜及其制备方法.pdf

    本发明公开了一种体垂直各向异性的亚铁磁合金薄膜及其制备方法，包括衬底，位于所述衬底上的亚铁磁合金薄膜,位于所述亚铁磁合金薄膜上的MgO薄膜,位于所述MgO薄膜上的Pt薄膜；制备方法包括以下步骤：S1：在真空及高纯度氩气条件下，以过渡族磁性金属Co和稀土金属Tb为靶材，采用超高真空磁控溅射技术在衬底上共溅射Co和Tb得到CoTb亚铁磁合金薄膜层；S2:在真空及高纯度氩气条件下，以MgO陶瓷为靶材，采用超高真空磁控溅射技术在所述合金薄膜层上沉积MgO得到MgO薄膜层；S3：在真空及高纯度氩气条件下，

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 114015983 B (45)授权公告日 2022.06.07 (21)申请号 202111297810.4 C23C 14/08 (2006.01)

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