失效图形的获取方法和获取装置.pdfVIP

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2023-04-24 发布于北京
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失效图形的获取方法和获取装置.pdf

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一种失效图形的获取方法和获取装置，其中失效图形的获取方法，包括：包括：获得一晶圆内的芯片测试结果图像，所述芯片测试结果图像中标记有若干失效测试点；计算所有失效测试点间每两点的向量；将具有相同向量的若干失效测试点定为同一群体；从每一个群体中分出若干种待定失效图形；基于所述若干种待定失效图形获得失效图形。通过前述步骤可以准确和快速的获得失效图形，所述失效图形用于判断测试机台是否存在问题，如果获得了失效图形，则可判断所述测试机台的测试环境存在问题，从而测试人员可以对测试机台的测试环境(比如对测试程序进

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114004778 A (43)申请公布日 2022.02.01 (21)申请号 202010730179.1 (22)申请日 2020.07.27 (71)申请人长鑫存储技术有限公司