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一种可调控光谱响应的微纳米结构和光逻辑门器件.pdfVIP

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  • 2023-04-24 发布于北京
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一种可调控光谱响应的微纳米结构和光逻辑门器件.pdf

    本发明公开了一种可调控光谱响应的微纳米结构和光逻辑门器件，整体结构由衬底上的介电层和导电层以及超材料组成，通过在电热式致动器阵列的导电层之间施加电压，使导电层内部有电流流过，由于介电层和导电层的热膨胀系数不匹配，致动器会因为温度的升高与降低而向上弯曲和向下弯曲，介电层上的超材料同样会发生形变，导致微纳结构的光学响应发生相应的改变，解决了传统的基于微纳结构的光学器件制备完成后光学特性无法改变，难以适应实际应用中的各种场景，降低了光学器件的适用性，以及通过改变材料的内部属性来调控光学响应的微纳结构受

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114019743 A (43)申请公布日 2022.02.08 (21)申请号 202111308608.7 (22)申请日 2021.11.05 (66)本国优先权数据 2021110

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