1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

一种压阻式微波功率检测系统.pdfVIP

  • 0
  • 0
  • 约6.47千字
  • 约 9页
  • 2023-04-24 发布于北京
  • 举报

一种压阻式微波功率检测系统.pdf

    本发明公开了一种压阻式微波功率检测系统，包括：高阻硅衬底，所述高阻硅衬底的上方设置有信号线，且信号线的两侧平行设置有地线，并且信号线的上方设置有悬臂梁，所述悬臂梁的底端与高阻硅衬底的上表面进行对接，且悬臂梁的上方涂布有石墨烯层。该压阻式微波功率检测系统，通过限位桥对信号线限位，使得绝缘层对信号线绝缘防护，当信号线传输微波信号时，使得微波功率可以在信号线上进行传输，悬臂梁受静电力并向信号线的方向拉动，使得悬臂梁受拉动而弯曲变形，并带动悬臂梁上表面的石墨烯层也发生形变，使得石墨烯层的电阻值发生变化，

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114019254 A (43)申请公布日 2022.02.08 (21)申请号 202111311956.X (22)申请日 2021.11.08 (71)申请人 张家港芯微感半导体技术有限公司

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >