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- 2023-04-24 发布于北京
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本发明公开了一种单晶炉排气管路自清洁系统及其装置，其中，单晶炉排气管路自清洁装置包括壳体、闸板阀、清洁头、第一驱动机构和第二驱动机构；壳体第一端为开口结构；闸板阀第一端用于连接排气管道的工艺孔，第二端与壳体第一端连接；清洁头设置于壳体内；第一驱动机构用于在闸板阀打开时，驱使清洁头由壳体内伸入排气管道内；第二机构用于驱使清洁头旋转。在本方案中，通过第一驱动机构将清洁头带入排气管道内，并通过第二驱动机构带动清洁头进行旋转清洁，以实现排气管道内挥发物的清洁，确保排气管道通畅，加快挥发物排出速率，进而降
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114011816 A
(43)申请公布日 2022.02.08
(21)申请号 202111307513.3
(22)申请日 2021.11.05
(71)申请人 双良硅材料(包头)有限公司
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