《光电薄膜技术》课程教学大纲（本科）.pdfVIP

光电薄膜技术 一、课程说明 课程名称：光电薄膜技术/ Photoelectric Thin-film Technology 课程类别：专业教育课程 学时/学分：32/2 先修课程：高等数学、固体物理、应用光学 适用专业：光电信息科学与工程相关所有专业 教材、教学参考书： 1.卢进军主编.光学薄膜技术.北京：电子工业出版社.2011 年； 2.吴锦雷主编.纳米光电薄膜材料.北京：北京大学出版社.2011 年。 二、课程设置的目的意义 薄膜制备技术是一种重要的材料制备和材料表面改性技术、本课程在学习薄膜光学 基本理论知识的基础上、使学生系统的了解各种光学薄膜、器件 （减反射膜、高反射膜、 中性分束膜、截止滤光片等）的工作原理和应用范围。通过学习本课程可以使学生详细 了解和掌握真空蒸镀、物理气相沉积、热蒸发、溅射等薄膜制备技术，了解薄膜物性检 测的主要方法，并为今后从事与光学薄膜相关的科研与工作打下坚实基础。 三、课程的基本要求 通过本课程的学习，要求能够掌握薄膜光学的基本理论和器件设计的基本方法，包 括：新设计方法、新器件设计、新薄膜制备工艺等。主要内容包括：薄膜光学基础、器 件设计方法、薄膜制造基本方法、高