一种基于离子注入的黑化单晶压电复合薄膜及其制备方法.pdfVIP

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2023-04-25 发布于四川
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一种基于离子注入的黑化单晶压电复合薄膜及其制备方法.pdf

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本申请公开的一种基于离子注入的黑化单晶压电复合薄膜及其制备方法，利用离子注入技术，先将剥离离子注入铌酸锂或钽酸锂晶圆内，然后将还原性离子注入到铌酸锂或钽酸锂晶圆的薄膜层内，经过键合、热处理步骤后，剥离离子注入使得键合体在分离层断开分离，还原性离子注入会占据薄膜层中原本更高价态离子的格点，增加铌酸锂或钽酸锂晶体中的氧空位浓度，使单晶薄膜内的载流子浓度提升，进而提高单晶薄膜的电导率，降低电阻率，随后对单晶薄膜进行退火修复，能够有效降低复合薄膜的热释电效应。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114068803 A (43)申请公布日 2022.02.18 (21)申请号 202111352850.4 H01L 41/18 (2006.01) (22)申请日 2