第八章光刻与刻蚀工艺.pptVIP

电池管理系统具有 智能性 的特点，有 预测电池剩余电量、剩余行驶里程、故障诊断、短路保护、显示报警及实时监测电池运行状态参数等功能，而且系统可以根据运算及判断结果对运行工况进行 智能调节 * 2.风阻系数是一个数学参数，用来计算出汽车在行驶时的 空气阻力。由于电动汽车车身内的乘客舱变得十分宽敞，使整车迎面空气阻力系数降至0.19 4.纯电动汽车在行驶过程中不排放CO2。即使考虑到火力发电站以煤为燃料发电，在能量转换时会产生有害气体排放和温室气体CO2排放，纯电动汽车也可比汽车、柴油车和混合动力汽车清洁得多。 5. 由于电动汽车可以通过 “电控系统 ”对各电动车轮的驱动力、制动力分别进行精确控制，纯电动汽车可轻易地将两轮驱动车改为四轮驱动车，而不需加装中间差速装置 * Si3N4的干法刻蚀 刻蚀剂：与刻蚀Si、SiO2相同。 Si3N4＋F*→ SiF4↑+N2↑ 刻蚀速率：刻蚀速率介于SiO2与Si之间； （Si-N键强度介于Si-O键和Si-Si键） 选择性： ①CF4： 刻蚀Si3N4/SiO2 --选择性差； ②CHF3：刻蚀Si3N4/SiO2 --选择性为2-4。 刻蚀Si3N4/Si --选择性为3-5； 刻蚀SiO2/Si --选择性大于10； 8.2.2 干法刻蚀 多