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基板支撑架及包括此的基板处理装置.pdfVIP

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  • 2023-04-25 发布于四川
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基板支撑架及包括此的基板处理装置.pdf

    本发明涉及基板支撑架及包括此的基板处理装置，更详细地说涉及支撑执行沉积、蚀刻等的基板处理的基板的基板支撑架及包括此的基板处理装置。本发明公开了一种基板支撑架(300)，设置在对基板(10)执行基板处理的基板处理装置并支撑所述基板(10)，包括：基板放置板(310)，在上面形成有放置基板(10)的基板放置面(312)；支撑轴部(320)，结合于所述基板放置板(310)底面；加热部(330)，用于加热放置在所述基板放置面(312)的基板(10)。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114068349 A (43)申请公布日 2022.02.18 (21)申请号 202110474548.X (22)申请日 2021.04.29 (30)优先权数据 10-2020-0

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