一种碳化硅晶体生长炉装料取晶体的动作系统.pdfVIP

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2023-04-25 发布于四川
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一种碳化硅晶体生长炉装料取晶体的动作系统.pdf

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本发明涉及单晶生长炉领域。一种碳化硅装料取晶体的动作系统，包括晶体生长炉，晶体生长炉包括机架，机架上安装有升降机构，机架上安装有用于控制升降机构升降过程中的极限位置的上极限开关以及下极限开关；热场组件包括基座、滑动支撑架、托板以及热场坩埚，基座与升降机构的升降架可拆卸连接；基座上滑动连接有滑动支撑架，滑动支撑架上安装有托板，托板上安装有热场坩埚；机架的左端开设有用于滑出滑动支撑架的滑出口，滑动支撑架的左端的底部安装有辅助滚轮，辅助滚轮包括承力托板、滚轮安装板以及滚轮，承力托板与滚轮安装板之间通过

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114032617 A (43)申请公布日 2022.02.11 (21)申请号 202111318372.5 (22)申请日 2021.11.09 (71)申请人上海汉虹精密机械有限公司