包含小单元的横向激励的薄膜体声波谐振器.pdfVIP

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  • 2023-04-25 发布于北京
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包含小单元的横向激励的薄膜体声波谐振器.pdf

公开了声波谐振器器件。一种声波谐振器器件包括并联电连接的多个单元。每个单元包括压电板上的叉指换能器(IDT),IDT具有至少15个但不超过35个交错的指状物。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114070241 A (43)申请公布日 2022.02.18 (21)申请号 202110876157.0 H03H 9/17 (2006.01) (22)申请日 20

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