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- 2023-04-25 发布于北京
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本发明提供使进行超临界干燥的基板处理装置小型化的基板处理装置和基板处理方法。基板处理装置包括：输送模块，其配置有用于输送基板的输送装置；以及处理模块，其与所述输送模块相邻。所述处理模块包括：液膜形成单元，其在水平的所述基板的上表面形成液膜；以及干燥单元，其将所述液膜置换为超临界流体而对所述基板进行干燥。所述干燥单元包括：压力容器，其在内部形成所述基板的干燥室；盖体，其封闭所述干燥室的开口；以及支承体，其在所述干燥室中水平地支承所述基板。所述支承体相对于所述干燥室固定。所述输送装置水平地保持形成有
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114068359 A
(43)申请公布日 2022.02.18
(21)申请号 202110865833.4
(22)申请日 2021.07.29
(30)优先权数据
2020-1351
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