弹性波装置.pdfVIP

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  • 2023-04-25 发布于四川
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一种弹性波装置,包含基板、形成于所述基板上的弹性波组件、形成于所述基板上并连接所述弹性波组件的第一布线、形成于所第一布线上的第一绝缘体、形成于所述第一绝缘体上的第二布线、覆盖所述第一布线、所述第一绝缘体和所述第二布线的至少一部分的第二绝缘体,及覆盖所述第二绝缘体的至少一部分的第三绝缘体,所述第二布线包括隔着所述第一绝缘体与所述第一布线立体交叉的立体布线部,其中,所述第二绝缘体的压缩应力大于所述第一绝缘体的压缩应力,并且小于所述第三绝缘体的压缩应力。借此,提供一种高可靠度的弹性波装置。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114070247 A (43)申请公布日 2022.02.18 (21)申请号 202110599845.7 (22)申请日 2021.05.31 (30)优先权数据 2020-1320

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