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- 2023-04-25 发布于四川
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本发明提供一种在多次进行基板处理要素组的实际运转的情况下，能够在短时间内开始最初的实际运转的技术。基板处理系统(10)具备基板处理装置(11)，上述基板处理装置具有基板处理要素组(20)和控制装置(40)，基板处理要素组(20)构成为进行试运转和实际运转，基板处理要素组(20)具有第一基板处理要素和第二基板处理要素，在多次进行实际运转的情况下，控制装置(40)使第一基板处理要素进行试运转，在完成第一基板处理要素的试运转后，使第一基板处理要素的实际运转开始。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114068350 A
(43)申请公布日 2022.02.18
(21)申请号 202110608442.4
(22)申请日 2021.06.01
(30)优先权数据
2020-1314
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