感应加热线圈及使用了该感应加热线圈的单晶制造装置.pdfVIP

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  • 2023-04-25 发布于四川
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感应加热线圈及使用了该感应加热线圈的单晶制造装置.pdf

在不变更形状的情况下调整熔区及原料棒的温度分布,由此,使单晶的电阻率的面内分布尽可能地均匀。感应加热线圈(13)具备:线圈导体(21),由大致圆环状的导体板构成;一对端子电极(22、22),分别设置于在线圈导体的周向上相邻的线圈导体的一端以及及另一端。线圈导体(21)具有:开口部(23),形成于中心部;狭缝(24),从开口部(23)沿径向延伸而将一对端子电极的连接位置在周向上分断,线圈导体(21)的至少下表面(13b)被区划为多个区域,各区域的辐射率不同。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114072545 A (43)申请公布日 2022.02.18 (21)申请号 202080049110.0 (74)专利代理机构 中国专利代理(香港)有限公

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