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本发明公开了一种开关式光源时分复用的直写曝光系统，包括依次设置的：光源；开关式时分复用模块，用于根据第二时序指令控制第一光线交替切换输出N路第二光线；N个照明模块，与N路所述输出光纤一一对应；N对数字微镜阵列和投影模块，用于按照曝光指令将所述第二光线转换成投影光；控制模块，分别与所述光源、开关式时分复用模块、数字微镜阵列电性连接，以用于输出所述第一时序指令、第二时序指令、曝光指令。本方案通过开关式时分复用模块可以把单一光路的切换成N路输出，结合控制模块对光源和数字微镜阵列的时序控制，进而实现单个
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114137801 A
(43)申请公布日 2022.03.04
(21)申请号 202111367073.0
(22)申请日 2021.11.17
(71)申请人 深圳光迪科技有限公司
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