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本发明涉及芯片切割技术领域,提供了一种划片装置,该划片装置包括:底座支架、主体支架、切割机芯组件和电气控制组件,电气控制组件位于切割机芯组件的上方;电气控制组件包括第一安装板和设置在第一安装板上的伺服驱动模块,第一安装板与主体支架连接;伺服驱动模块在第一安装板所在平面的正投影与切割主轴在第一安装板所在平面的正投影不重叠。本发明通过将发热量大的电气控制组件设置在精密的切割机芯组件上方,使得电气控制组件周围的热空气上升,可减小对下方切割机芯组件的形变影响,提升整个划片装置的切割精度;同时将电气控制组
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 114074380 B
(45)授权公告日 2022.04.22
(21)申请号 202210057596.3 B28D 7/00 (2006.01)
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