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本发明公开了一种场发射电子源针尖的制备装置及其方法,场发射电子源针尖的制备装置包括控制模块、驱动模块、电解池、通电模块;通电模块包括电源、与电源连接的第一电极和第二电极,第二电极置于电解池的电解液中,第一电极与待腐蚀材料电连接;待腐蚀材料浸入电解液中设定深度后,控制模块控制电源向第一电极和第二电极之间施加第一电压,以及用于在采集的电流信号小于第一设定电流值且大于第二设定电流值时,控制电源向第一电极和所述第二电极之间施加第二电压,第二电压小于第一电压。控制模块根据电流信号控制向第一电极和第二电极间
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114141594 A
(43)申请公布日 2022.03.04
(21)申请号 202111404285.1
(22)申请日 2021.11.24
(71)申请人 苏州
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