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- 2023-04-26 发布于四川
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本发明提供等离子体处理装置。所述装置包括：腔室，具有产生等离子体的处理空间；以及等离子体产生单元，用于将处理空间内的气体激发为等离子体状态，其中，等离子体产生单元包括：第一电源，提供用于产生等离子体的电力；线圈部，与第一电源连接；第一并联电容器，连接在线圈部的第一节点与接地电源之间；以及第二并联电容器，连接在线圈部的不同于第一节点的第二节点与接地电源之间。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 115995375 A
(43)申请公布日 2023.04.21
(21)申请号 202210967398.0
(22)申请日 2022.08.12
(30)优先权数据
10-2021-0139978
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