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具有薄的耐久性减反射结构的无机氧化物制品.pdfVIP

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  • 2023-04-26 发布于四川
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具有薄的耐久性减反射结构的无机氧化物制品.pdf

    本申请涉及具有薄的耐久性减反射结构的无机氧化物制品。一种制品，其包括：具有相对主表面的无机氧化物基材；和布置在基材的第一主表面上的光学膜结构，所述光学膜结构包括以下一种或多种：含硅氧化物、含硅氮化物和含硅氧氮化物，以及约50nm至小于500nm的物理厚度。制品展现出：在约100nm压痕深度测得的8GPa或更大的硬度，或者在约100nm至约500nm的压痕深度范围测得的9GPa或更大的最大硬度，所述硬度和最大硬度通过布氏压痕计硬度测试测量。此外，制品展现出小于1％的单侧适光平均反射率。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114085038 A (43)申请公布日 2022.02.25 (21)申请号 202111564905.8 (51)Int.Cl.

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