晶圆旋转装置及化学气相沉积设备.pdfVIP

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2023-04-26 发布于北京
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晶圆旋转装置及化学气相沉积设备.pdf

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本发明公开了一种晶圆旋转装置及化学气相沉积设备,所述包括静电吸盘、反应腔体、晶圆支撑架，所述静电吸盘通过三个提升销与晶圆支撑架连接，静电吸盘依据静电原理吸引晶圆片；所述反应腔体左侧接入反应气体管道并配有压力计，底部连接尾气管路，配有压力计，并通过节流阀连接于涡轮泵上；所述反应腔体顶部连接远程等离子体源，中间为清洁气体管路，清洁气体管路穿过陶瓷钟罩，且尾部接有喷头；所述晶圆支撑架底部与反应腔体密封连接。本发明在于不仅可以对晶圆进行升降动作，还可以通过驱动马达来对晶圆进行旋转作业，通过旋转晶圆来达到

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114141684 A (43)申请公布日 2022.03.04 (21)申请号 202111427199.2 (22)申请日 2021.11.28 (71)申请人盛吉盛（宁波）半导体科技有限公司