一种金属箔生产系统.pdfVIP

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2023-04-26 发布于四川
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一种金属箔生产系统.pdf

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本发明属于生产设备领域，尤其涉及一种金属箔生产系统。其包括：用于预处理的上游区；用于沉积制备的负载区；和用于分离的下游区；所述上游区、负载区和下游区设有传送装置；所述载体包括负载面；所述上游区内设有在载体的负载区表面制备过渡层的预处理装置；所述负载区设有气相沉积装置，所述气相沉积装置包括用于产生预沉积态金属的发生结构和用于引导预沉积态金属的引导结构，所述发生结构产生的预沉积态金属通过引导结构引导至载体表面的过渡层上，所述预沉积态金属为气态金属和/或等离子态金属；所述下游区内设有用于去除过渡层的后

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114107911 A (43)申请公布日 2022.03.01 (21)申请号 202111335012.6 C23C 14/18 (2006.01) (22)申请日 2