一种灵敏度高且循环稳定性好的柔性应变传感器的制备方法.pdfVIP

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2023-04-26 发布于四川
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一种灵敏度高且循环稳定性好的柔性应变传感器的制备方法.pdf

本发明公开了一种灵敏度高且循环稳定性好的柔性应变传感器的制备方法，属于应变电测与传感器技术领域。该方法包括三个步骤：在柔性基底上溅射一层金属薄膜、对薄膜进行疲劳加载使其表面产生疲劳裂纹、在薄膜两端连接电导线。利用本发明可以制备出兼具高灵敏度和高循环稳定性的柔性应变传感器。采用本发明所制备的应变传感器具有十的三次方以上的高灵敏度因子，能够精准感应极微小的应变(小于1.5％的应变)，同时具有优异的循环稳定性，实现了柔性应变传感器两大关键性能的结合，此外还具有易于制备、性能便于调控等优点，为柔性电子器

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114136203 A (43)申请公布日 2022.03.04 (21)申请号 202111338988.9 (22)申请日 2021.11.12 (71)申请人中国科学院金属研究所

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