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2023-04-27 发布于北京
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三轴陀螺仪.pdf

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公开了一种三轴陀螺仪，包括衬底和位于衬底上的可动结构层；可动结构层包括：沿第一轴线平行设置并间隔预定距离的第一驱动框架和第二驱动框架分别沿第二轴线进行反方向的谐振运动；弹性框架位于可动结构层的正中心；第一感测结构位于第一驱动框架和第二驱动框架之间，以及沿第二轴线方向对称分布在弹性框架两侧；第二感测结构沿第一轴线方向对称分布在弹性框架的两侧；耦合结构用于将第一感测结构和第二感测结构耦接，并控制第一感测结构和第二感测结构的运行方向相互垂直；第一感测结构由第一驱动框架和第二驱动框架进行驱动，第二感测结

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114166195 A (43)申请公布日 2022.03.11 (21)申请号 202111301114.6 (22)申请日 2021.11.04 (71)申请人杭州士兰微电子股份有限公司