《原子力显微镜校准规范》.pdfVIP

JJF （苏） -201* 目 录 引 言 （II） 1 范围 （1） 2 引用文件 （1） 3 术语和计量单位 （1） 4 概述 （1） 5 计量特性 （1） 6 校准条件 （2） 6.1 环境条件 （2） 6.2 测量标准及其他设备 （2） 7 校准项目和校准方法 （2） 7.1 Z 向漂移及噪声 （2） 7.2 Z 向亚纳米高度校正比例因子 （3） 7.3 Z 向位移测量误差 （4） 7.4 Z 向位移测量重复性 （5） 8 校准结果表达 （5） 9 复校时间间隔 （5） 附录A 探针使用中检查 （基本锐度测试） （6） 附录B 原子力显微镜Z 向位移测量误差的测量不确定度评定 （7） 附录C 校准证书内容 （10） 附录D 校准证书内页格式 （11） I JJF （苏） -201* 引 言 本规范依据JJF 10