一种金刚线切割单硅棒用冷却装置.pdfVIP

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2023-04-27 发布于四川
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一种金刚线切割单硅棒用冷却装置.pdf

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本发明涉及晶硅加工技术领域，且公开了一种金刚线切割单硅棒用冷却装置，包括支撑壳体，所述支撑壳体的内侧中部固定安装有承液筒，所述承液筒的内腔中部活动安装有转轴，所述转轴的外部固定安装有搅叶。本发明通过设置输液管，利用输液管和传动板叶相配合，使冷却液有效且针对性的对金刚线进行降温冷却，通过设置活动板，使其带动阀门板进行上下移动，使承液筒的内部冷却液可及时补充，且补充容量适当，通过利用冷却液对活动板造成上压力，使活动板带动牵引绳向上运动，促使耐磨板的表面产生大量热能，利用第一气腔内腔中的气体受热，使晶

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114161595 A (43)申请公布日 2022.03.11 (21)申请号 202111558823.2 (22)申请日 2021.12.20 (71)申请人郭焕秀地址 561