腔体加载谐振单元嵌套二极管的太赫兹调制器.pdfVIP

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2023-04-27 发布于北京
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腔体加载谐振单元嵌套二极管的太赫兹调制器.pdf

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本发明提供了一种腔体加载谐振单元嵌套二极管的太赫兹调制器，包括矩形波导和调制芯片，调制芯片设置在矩形波导的腔体壁上；矩形波导上设置有输入波导口和输出波导口；调制芯片包括半导体衬底和置于半导体衬底上的人工微结构；半导体衬底一侧与矩形波导的腔体壁相接触，人工微结构与矩形波导的腔体壁不接触；矩形波导纵向上下两侧壁与调制芯片相接触，矩形波导纵向上下两侧壁上分别设置有空气窗，空气窗用于外部控制电路与芯片上的电极进行电气连接。本发明的调制芯片上的人工微结构采用极少的调制单元，与传统的大阵列设计相比，存在于大

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114167625 A (43)申请公布日 2022.03.11 (21)申请号 202111397396.4 (22)申请日 2021.11.23 (71)申请人上海微波技术研究所（中国电子科