一种微光学加速度计.pdfVIP

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2023-04-28 发布于四川
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一种微光学加速度计.pdf

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本发明公开了一种微光学加速度计，由上层的光收发模块，中间层的异构集成腔光力加速度敏感芯片以及下层的保护封盖封装在陶瓷基底上得到，还有间隔键合层，光收发模块由带有金属引线的氮化铝陶瓷基板以及激光器芯片和探测器芯片组成，异构集成腔光力加速度敏感芯片由多个光子晶体波导、MEMS敏感结构、光力传感结构以及谐振光栅耦合器组成，保护封盖为二氧化硅盖板，陶瓷基底带有金属焊盘；本发明集成了多级差分探测结构，抑制了激光器，探测器，MEMS机械振子敏感结构，拉链腔式腔光力传感等多种共模噪声，比现有的光学式加速度计具

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114200162 A (43)申请公布日 2022.03.18 (21)申请号 202111428053.X (22)申请日 2021.11.29 (71)申请人华中光电技术研究所（中国船舶重