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本发明属于传感器以及材料制备领域，涉及一种基于碲纳米线垂直结构的热电‑压电器件及制备方法，该方法在柔性导电基底上，通过物理气相沉积方法制备长几百纳米到十几微米长度的碲纳米线，且长径比可控。在生长有碲纳米线的柔性导电基底进行PDMS旋涂，控制旋涂时间和转速，可以使碲纳米线部分被PDMS包覆，在加热台上使PDMS固化，在固化后的PDMS上层贴上柔性电极板，形成上电极。该垂直结构器件同时具有热电与压电双传感效应，相较于传统的压电和热电传感器，双集成器件更适用于智能可穿戴电子设备。且制备的碲纳米线工艺方
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114203892 A
(43)申请公布日 2022.03.18
(21)申请号 202111429164.2 B82Y 40/00 (2011.01)
(22)申请日 2
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