荧光X射线分析装置及荧光X射线分析装置的控制方法.pdfVIP

荧光X射线分析装置及荧光X射线分析装置的控制方法.pdf

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本发明提供一种荧光X射线分析装置及荧光X射线分析装置的控制方法,即使在荧光X射线分析装置发生异常的情况下,也能够防止样品的劣化、破损、装置内部污染。荧光X射线分析装置具备:测量部,包括在待机位置和测量位置之间移动样品的移动机构、向样品照射1次X射线的X射线源、检测入射的荧光X射线的强度的检测器和控制移动机构及X射线源动作的第一控制部;以及信息处理部,其具有基于检测器测量出的荧光X射线的强度对样品进行分析的分析部、和与第一控制部进行通信并控制测量部的第二控制部,第一控制部具有退让单元,在第一控制部

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114207421 A (43)申请公布日 2022.03.18 (21)申请号 202180004650.1 (74)专利代理机构 北京瑞盟知识产权代理有限

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