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本发明涉及一种铜基板表面真空紫外铝反射镜的镀膜方法，所述的铝反射镜，从铜基板到空气依次包括介质间隔层、铝膜、氟化物保护膜层，所述的介质间隔层为氟化物或者氧化物膜层，用来隔绝铝膜和铜基板发生合金反应形成铜铝合金。介质间隔层可以在镀制铝膜前在真空室中镀制，也可以在其他真空室中镀制，然后在大气环境中转移至镀制铝膜和氟化物保护膜的镀膜真空室，以包含介质间隔层的铜基板作为基板镀制铝膜和氟化物保护膜；所述的铝膜采用钨丝导电后加热铝丝蒸发制备，所述的氟化物保护膜层采用蒸发舟或者电子枪蒸发氟化物制备。所述的一种
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114196924 A
(43)申请公布日 2022.03.18
(21)申请号 202111533081.8 C23C 16/455 (2006.01)
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