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* * 培训对象：硅单晶制取工 培训讲师：詹文平 硅单晶分厂 拉晶操作培训全文共23页，当前为第1页。 拉晶工序 清炉 热场的安装 石英坩埚的安装 装料 籽晶的安装 抽真空 检漏 化料 稳定化 引晶 放肩 转肩 等径 收尾 停炉冷却 取晶棒 拉晶操作培训全文共23页，当前为第2页。 清炉 拉晶完毕，晶棒取出后，炉体冷却后，对单晶炉进行清扫。 每次小清，4炉次之后大清。 小清只需取出几个石墨部件打扫干净，不过为了防止泄漏，必须清理防爆阀上的密封圈。 大清时将石墨热场全部清理，包括真空管道。 清理完之后，用酒精将炉壁内擦拭干净。 清炉时要确认石墨加热器螺丝是否加紧，防止松动造成打火。 清炉顺序：自上而下，逐一清理 拉晶操作培训全文共23页，当前为第3页。 安装电极→炉底碳毡→反射底板→下保温罩→石墨环、石英环→加热器→中保温罩→石墨托杆→石墨托盘→装三瓣埚→下降主炉室→上保温罩→导气孔→保温盖板→装导流筒→压环 热场安装顺序示意图 二、热场的安装与煅烧 拉晶操作培训全文共23页，当前为第4页。 石英坩埚的安装 安装石英坩埚前，请穿好洁净的工作服，工作帽，并戴好未使用的一次性手套； 确认石英坩埚内无脏污、裂口、气泡等； 安装石英坩埚时要轻放，防止损伤石英坩埚； 安装完毕后确认石英坩埚口是否水平。 拉晶操作培训全文共23页，当前为第5页。 装料 装料前要穿好结晶的工作服，戴上工作帽，防护眼镜，一层棉手套，一层一次性手套。 在装料时因轻拿轻放，防止碰伤石英坩埚。 液面以下部分尽量加满不要有空隙，液面以上于石英坩埚接触采用点接触并重心往里，防止熔化时产生挂边； 装料完毕之后因用吸尘器将石英坩埚口和石墨件上的硅料粉吸掉； 注意：吸尘器吸粉料时吸尘管不要碰到硅料和石英坩埚，防止被污染。 装料时，先将埚升升到到最高位置，在进行装料。 拉晶操作培训全文共23页，当前为第6页。 装料时要轻放、慎重作业、不要使硅料掉在保温材料和加热器之间的缝隙。在埚底平铺一层粉、小型硅料，然后将大型硅料放在上面，大型硅料之间的间隙里填充粉、小型硅料，不要使大料架空。在装料到石英坩埚上层时，硅块靠坩埚壁尽量以点接触，避免面接触，造成挂边；最后将硅料堆成金字塔形状，料的重心在石英坩埚中心，上部装料时不要伸出石英坩埚壁,否则易造成漏料，损坏石墨件，甚至使整炉硅料报废；（见下图） 装料完成后埚转为2/rpm左右旋转，查看坩埚旋转情况，然后将埚位下降至最低熔料位置，关闭旋转。 装料 拉晶操作培训全文共23页，当前为第7页。 装籽晶 安装前应穿好洁净的专用工作服及工作帽并带好洁净的一次性手套，防止异物进入石英坩埚内。 根据规格要求选择籽晶（一般1-0-0），现在CZ1#厂房所使用籽晶一般是（100）晶向的籽晶。 确认定位开槽是否有损伤 用定位销将籽晶固定于籽晶夹具上并用双手垂直 用力拉一下确认有无问题 装完籽晶后用酒精和无尘纸将其擦拭干净 每次安装前因取下籽晶夹具检查确认籽晶 绳有无折痕，如有因急时更换防止拉晶时造成籽晶晃动 拉晶操作培训全文共23页，当前为第8页。 抽真空 目的：将炉内抽至相对要求真空，防止原材料加热溶化过程产生氧化。 关闭炉盖前先用酒精和无尘纸将炉盖和炉筒及“O”型圈擦拭干净； 启动前需要检查泵体内的真空油、皮带的松紧及损坏情况以及冷却水。 采用多次点动启动的方法，等转动灵活后再按下启动按钮； 泵运转约5分钟左右各方面均正常后，再缓慢打开主泵球阀对炉子进行预抽真空，注意主泵球阀必须缓慢打开。 观察炉内压力，直到显示压力低于要求达到的压力或更低。 拉晶操作培训全文共23页，当前为第9页。 检漏 目的：确认炉体漏气量 当炉子的真空度达到规定值时，关闭真空管道上的主泵球阀。 观察真空计上的压力数值，测定压力变化。CZ1#厂房设备检漏时，泄漏率小于50mTorr/时为合格 检漏结束后缓慢打开真空管道上的主泵球阀继续抽一段时间真空，直至真空度低于检漏时的真空度。 拉晶操作培训全文共23页，当前为第10页。 化料 目的：将固化的硅原料在规定时间内转化为液体。 在规定的功率（在规定的时间内从低到高慢慢提升，直到化料要求功率）和坩埚位置下熔化成液态 化料时，流量控制在40-60L/min.炉内压力维持在10T或1000Pa左右。 将坩埚转速设定在2r/分. - 中心