薄膜制备技术基础.pptVIP

  • 1
  • 0
  • 约7.12千字
  • 约 64页
  • 2023-05-02 发布于广东
  • 举报
稳定流动状态下流量守恒 串连: 并连: 串连时总流导小于任何连接的流导 现在是29页\一共有64页\编辑于星期五 (4)泵抽速S 泵入口处单位时间抽入的气体体积 (6)泵的有效抽速(实际抽速) 当一个容器由一根管道连接到泵进行抽气时,在容器出口处的抽速。 (5)泵抽除量R 表征泵的抽气能力 R=P1S 现在是30页\一共有64页\编辑于星期五 实际抽速的计算: S=Q/P=截面积*流速 系统实际抽速 Q=Sp·Pr=S·P=C(P-Pr) 现在是31页\一共有64页\编辑于星期五 真空计的位置 p0, S0 p, S 实际压强要比测量压强高 现在是32页\一共有64页\编辑于星期五 (7)极限真空度 只考虑泵抽气过程总存在气体回流量Qp 净流量: 令Q=0,求出极限真空度 现在是33页\一共有64页\编辑于星期五 分离变量,积分得: 其中: Pi为真空室初始真空度(t=0) P0为真空室极限真空度(t→∞) Pt为真空室某一时刻真空度 现在是34页\一共有64页\编辑于星期五 第四节.抽真空和抽真空设备 一、 抽真空 是利用各种真空泵将被抽容器中的气体抽出,使该空间的压强低于一个大气压的过程。 可有多种方法实现抽真空 真空泵:抽真空的装置 现在是35页\一共

文档评论(0)

1亿VIP精品文档

相关文档