PS分峰的分析实例.docxVIP

.. .. . .下载可编辑. 材料Ｘ射线光电子能谱数据处理及分峰的分析实例 例：将剂量为 1 107ions/cm2，能量为 45KeV 的碳离子注入单晶硅中，然后在 1100C 退火 2h 进行热处理。对单晶硅试样进行 XPS 测试，试对其中的 C 1s 高分辨扫瞄谱 进行解析，以确定各种可能存在的官能团。分析过程： 1、在 Origin 中处理数据 图 1 将实验数据用记事本打开，其中 C 1s 表示的是 C 1s 电子，299.4885 表示起始 结合能，-0.2500 表示结合能递减步长，81 表示数据个数。从 15842 开始表示是光电子强度。从 15842 以下数据选中 Copy 到 Excel 软件 B 列中，为光电子强度数据列。同时将 299.4885Copy 到 Excel 软件 A 列中，并按照步长及个数生成结合能数据，见图 2 图 2 将生成的数据导入 Origin 软件中，见图 3。 图 3 此时以结合能作为横坐标，光电子强度作为纵坐标，绘出 C 谱图，检查谱 1s 图是否有尖峰，如果有，那是脉冲，应把它们去掉，方法为点Origin 软件中的 Data-Move Data Points，然后按键盘上的?或?箭头去除脉冲。本例中的实验数据没有脉冲，无需进行此项工作。将 column A 和 B 中的值复制到一空的记事本文档中（即成两列的格式，左边为结合能，右边为峰强），并存盘，见图 4。 图 4 2、打开XPS Peak，引入数据：点Data--Import (ASCII)，引入所存数据，则出现相应的 XPS 谱图，见图 5、图 6 3、选择本底：点 Background，因软 件问题， High BE 和 Low BE 的位置最好不改，否则无法再回到 Origin，此时本底将连接这两点，Type 可据实际情况选择，一般选择 Shirley 类型， 见图 7。 图 7 4、加峰： 点 Add peak，出现小框，在 Peak Type 处选择 s、p、d、f 等峰类型（一般选 s），在 Position 处选择希望的峰位，需固定时则点 fix 前小方框，同法还可选半峰宽（FWHM）、峰面积等。各项中的constraints 可用来固定此峰与另一峰的关系。点 Delete peak 可去掉此峰。然后再点 Add peak 选第二个峰，如此重复。 在选择初始峰位时，如果有前人做过相似的实验，可以查到相应价键对应的峰位最好。但是如果这种实验方法比较新，前人没有做过相似的，就先用标准的峰位为初始值。最优化所有的峰位，然后看峰位位置的变化。 本例中加了三个峰，C 元素注入单晶硅后可能形成 C-C、C-Si 和 C-H 三个价键。根据这三个价键对应的结合能确定其初始峰位，然后添加。具体过程见图 8、9、10。 图 8 图 9 图 10 5、拟合。选好所需拟合的峰个数及大致参数后，点Optimise region 进行拟合， 观察拟合后总峰与原始峰的重合情况，如不好，可以多次点 Optimise region。最终拟合结果见图 11。 图 11 6、参数查看。拟合完成后，分别点另一个窗口中的Rigion Peaks 下方的 0、1、 2 等可看每个峰的参数，此时 XPS 峰中变红的为被选中的峰。如对拟合结果不region 满意，可改变这些峰的参数，然后再点 Optimise。 .. .. . .下载可编辑. 7、点击 Save XPS 存图，下回要打开时点 Open XPS 就可以打开这副图继续进行处理。 8、数据输出。 点击 Data――Print with peak parameters，可打印带各峰参数的谱图， 通过峰面积可计算此元素在不同峰位的化学态的含量比。 点击 Data――Export to clipboard，则将图和数据都复制到了剪贴板上， 打开文档（如 Word 文档），点粘贴，就把图和数据粘贴过去了。 点击 Data――Export（spectrum），则将拟合好的数据存盘，然后在 Origin中从多列数据栏打开，则可得多列数据，并在 Origin 中作出拟合后的图。 XPS 能谱数据处理 王 博 吕 晋 军 齐 尚 奎 能谱数据转化成ASC 码文件后可以用EXCEL、ORIGIN 等软件进行处理。这篇文章的目的是向大家介绍用ORIGIN 软件如何处理能谱数据，以及它的优势所在。 下面将分三部分介绍如何用ORIGIN 软件处理能谱数据：1、多元素谱图数据处理 2、剖面分析数据处理 3、复杂谱图的解叠 一、多元素谱图的处理： 元素名称X 元素名称 X 轴起始点 X 轴步长 采集的数据点 Y 轴数值 总数 2、复制Y 轴数值。打开ORIGIN，将Y 轴数据粘贴到B（Y）： 3、如图：点击工具栏