薄膜的检测方法.pdfVIP

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2023-05-04 发布于北京
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薄膜的检测方法.pdf

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本申请实施例公开了一种薄膜的检测方法，包括：向待测薄膜的第一表面提供功率不同的第一激光脉冲激发信号和第二激光脉冲激发信号，以在待测薄膜中激发第一超声波和第二超声波；分别获取第一超声波和第二超声波在待测薄膜中传播的第一信号谱和第二信号谱；根据第一信号谱和第二信号谱，确定第一超声波在待测薄膜中传播产生的多个回波的信号幅值随回波到达时间的第一衰减系数、第二超声波对应的第二衰减系数，以及第一超声波或第二超声波的至少一回波的信号幅值和回波到达时间；根据第一衰减系数、第二衰减系数，以及至少一回波的信号幅值和

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114216859 A (43)申请公布日 2022.03.22 (21)申请号 202111415926.3 (22)申请日 2021.11.25 (71)申请人长江存储科技有限责任公司