一种承载装置及检测设备.pdfVIP

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2023-05-04 发布于北京
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一种承载装置及检测设备.pdf

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本发明公开一种承载装置及检测设备，其中，该承载装置包括承载盘,所述承载盘包括外缘区域和由所述外缘区域包围的中部区域，所述外缘区域设有支撑台，所述支撑台设有高于所述中部区域的上表面的吸附面，所述外缘区域还设有出口位于所述吸附面的吸附孔，所述中部区域设有气孔，所述气孔用于和压力供给装置相连通，使用状态下，待测试样的外缘部分吸附固定于所述吸附面。上述承载装置的承载盘的外缘区域设有支撑台，支撑台通过负压吸附的方式对待测试样的外缘部分进行吸附固定，这样，可以更好地保证待测试样在检测过程中的平稳性，尤其是在

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114267624 A (43)申请公布日 2022.04.01 (21)申请号 202010973488.1 (22)申请日 2020.09.16 (71)申请人深圳中科飞测科技股份有限公司