灰度光刻的光强矫正方法、装置、设备及存储介质.pdfVIP

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2023-05-04 发布于北京
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灰度光刻的光强矫正方法、装置、设备及存储介质.pdf

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本发明提供一种灰度光刻的光强矫正方法、装置、设备及存储介质，属于灰度光刻技术领域。灰度光刻的光强矫正方法，包括：获取刻蚀图像中预设区域内坐标点的坐标值以及对应于各坐标值的实测深度值，其中，刻蚀图像为根据设计图像刻蚀后的实际图像，预设区域与设计图像上预设的采样区域相对应；获取设计图像中采样区域内坐标点的坐标值及对应于各坐标值的设计深度值和灰度值；根据坐标值及其对应的设计深度值、灰度值以及实测深度值分别计算确定各灰度值与矫正光强值之间的映射关系。能够对灰度光刻制程中灰度值与光强间的映射关系进行矫正，

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114253079 A (43)申请公布日 2022.03.29 (21)申请号 202010992050.8 (22)申请日 2020.09.21 (71)申请人浙江水晶光电科技股份有限公司