连续型锭生长装置.pdfVIP

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2023-05-04 发布于北京
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连续型锭生长装置.pdf

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本发明涉及连续型锭生长装置，更具体地，涉及可通过感应加热方式来使固态硅材料熔融并向主坩埚进行供给的连续型锭生长装置。为此，本发明一实施方式的连续型锭生长装置可包括：生长炉，在内部设置有为了形成锭而收容熔融状态的硅的主坩埚；材料供给部，用于供给使上述熔融状态的硅熔融之前的固态硅材料；以及预备熔融部，包括预备坩埚、加热空间以及预备坩埚加热模块，上述预备坩埚用于使从上述材料供给部供给的上述固态硅材料熔融，能够在上述加热空间对上述预备坩埚进行加热，上述预备坩埚加热模块通过感应加热方式来对上述预备坩埚进行

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114250507 A (43)申请公布日 2022.03.29 (21)申请号 202011404236.3 C30B 15/14 (2006.01) (22)申请日 2