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本发明公开了三氯化镓制粒包装装置，包括：反应器、制粒软管、压力平衡器、惰性气体单元、真空单元和产品包装瓶，制粒软管可拆卸地设于压力平衡器内，反应器通过导流管与制粒软管连通，真空单元通过抽真空管道分别与制粒软管、压力平衡器连通，惰性气体单元通过惰性气体管道分别与压力平衡器、制粒软管连通，制粒软管包括软管本体，软管本体的一端开口设有与软管本体开口密封适配的转接接头，转接接头可与导流接头、堵头或产品包装瓶的瓶口密封连接，导流接头与导流管、抽真空管道密封连接。还提供三氯化镓制粒包装方法。该方法成本低、操
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114210259 A
(43)申请公布日 2022.03.22
(21)申请号 202111349636.3
(22)申请日 2021.11.15
(71)申请人 广东
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