一种全自动硅片倒角设备.pdfVIP

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2023-05-04 发布于北京
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一种全自动硅片倒角设备.pdf

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本发明提供了一种全自动硅片倒角设备，包括：控制机构；吸盘机构；倒角机构；以及归零机构；所述吸盘机构通过悬臂梁与控制机构连接；其特征在于，所述吸盘机构与倒角机构设置于所述控制机构的一侧且与该控制机构之间隔离设置；所述吸盘机构位于所述悬臂梁的下方且其由所述控制机构带动相对所述归零机构及倒角机构移动，自动完成归零和硅片倒角动作。通过将移动工装设计集成于低转速的吸盘机构上，而高转速的倒角机构采用固定方式，以减少其工装带来的误差影响，进而大大提高硅片的倒角加工精度；而且结合吸盘机构的并排式设计结构，平衡了

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114260785 A (43)申请公布日 2022.04.01 (21)申请号 202111609662.5 B24B 47/12 (2006.01)