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测量系统、生成在进行包含预定结构的半导体的图像测量时使用的学习模型的方法、以及存储用于使计算机执行生成在进行包含预定结构的半导体的图像测量时使用的学习模型的处理的程序的存储介质.pdfVIP

测量系统、生成在进行包含预定结构的半导体的图像测量时使用的学习模型的方法、以及存储用于使计算机执行生成在进行包含预定结构的半导体的图像测量时使用的学习模型的处理的程序的存储介质.pdf

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    本发明提供一种技术，在不参照需要技能的图像处理的参数调整或难以获得的情况的设计图的情况下就能够执行测量处理。本公开的测量系统参照基于根据半导体的样品图像生成的监督数据和样品图像而生成的学习模型，根据具有预定结构的半导体的输入图像(测量目标)生成区域分割图像，并使用区域分割图像执行图像测量。在此，监督数据是对图像的各像素分配了包含样品图像中的半导体的结构的标签而得的图像，学习模型包含用于根据样品图像推定监督数据的参数(参照图1)。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114270484 A (43)申请公布日 2022.04.01 (21)申请号 201980099234.7 (51)Int.Cl.

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