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- 2023-05-05 发布于四川
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本发明涉及真空镀膜技术领域，特别是涉及一种金刚石涂层工具及其制备方法。所述金刚石涂层工具包括工具本体和形成在所述工具本体表面上的涂层；所述涂层包括至少一个复合结构单元，所述复合结构单元沿背离所述工具本体表面的方向为依次层叠的微米晶金刚石层和纳米晶金刚石层，所述微米晶金刚石层中金刚石晶体粒径为4μm～15μm，所述纳米晶金刚石层中金刚石晶体粒径为200nm～500nm。所述金刚石涂层工具可以满足实际生产中对其高光洁度和高寿命的要求。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114293171 A
(43)申请公布日 2022.04.08
(21)申请号 202111637666.4
(22)申请日 2021.12.29
(71)申请人 东莞市华升真空镀膜科技有限公司
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