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一种晶圆方向判定系统及方法.pdfVIP

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  • 2023-05-05 发布于四川
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一种晶圆方向判定系统及方法.pdf

    本申请公开了一种晶圆方向判定系统及方法，所述系统包括：光源控制器、工控机和视觉检测装置；所述光源控制器用于将光源打开并照射在位于黑色非反光背景台面上的晶圆；所述工控机与所述视觉检测装置电连接，所述工控机用于控制相机对所述晶圆拍摄，并将拍摄的晶圆图片传输至所述视觉检测装置；所述视觉检测装置用于自动识别所述晶圆图片中所述晶圆大切边的中垂线位置，从中垂线位置开始顺时针旋转计算与所述晶圆小切边中垂线之间的夹角角度，得到角度值；根据所述角度值与预设角度值比较，若等于则判定所述晶圆为正面；若不等于，则判定所

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114295613 A (43)申请公布日 2022.04.08 (21)申请号 202111596921.5 (22)申请日 2021.12.24 (71)申请人 济南晶正电子科技有限公司

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