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一种压电摆台及半导体设备.pdfVIP

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  • 2023-05-05 发布于四川
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一种压电摆台及半导体设备.pdf

    本发明提供了一种压电摆台及半导体设备，该压电摆台包括：载台、轴承以及压电促动模块，载台与轴承连接，压电促动模块被配置为沿载台的转动轴线的周向切线方向上产生位移，使其沿周向切线方向在钳止和分离的两状态之间切换，以钳止或转动载台；当从钳止状切换为分离状态时，载台形成转动，通过至少两个压电促动模块对载台交替执行转动与钳止，以将载台转动至设定角度。本发明提供了一种压电摆台及半导体设备，可提高压电摆台的转动速度和可重复性，有效地避免了当转动载台时压电促动模块与载台或轴承之间出现持续的滑动摩擦，并有效地抑制

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114301329 A (43)申请公布日 2022.04.08 (21)申请号 202111599479.1 (22)申请日 2021.12.24 (71)申请人 上海精测半导体技术有限公司

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