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模拟装置具备模拟部和输出部。模拟部基于基板产品的生产计划,模拟对基板进行预定的对基板作业来生产基板产品的对基板作业机的运转状况以及向对基板作业机供给生产基板产品所需的物品的物品移动装置的运转状况。输出部输出时序信息,该时序信息表示作为模拟部的模拟结果的对基板作业机的运转状况的历时变化以及物品移动装置的运转状况的历时变化。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114303450 A
(43)申请公布日 2022.04.08
(21)申请号 201980099893.0 (51)Int.Cl.
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