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2023-05-05 发布于四川
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探针调节机构.pdf

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本发明涉及精密检测领域，具体公开了探针调节机构，包括安装座、XY轴移动座、Z轴移动座、若干探针和探针座，安装座、XY轴移动座、Z轴移动座和探针座依次连接安装，若干探针均安装在探针座上，Z轴移动座和探针座之间安装有安装架，安装架上安装有控制探针座绕Y轴微转动的旋转单元，旋转单元包括转轴以及推动转轴的端部转动的推动部，转轴远离推动部的一端与探针座固定连接，转轴的另一端与安装架转动连接。本方案中的旋转单元能对探针座和探针进行Y轴方向的轻微调节，旋转单元相较于XY轴移动座的调节，调节更加灵敏有效。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114280455 A (43)申请公布日 2022.04.05 (21)申请号 202111622526.X (22)申请日 2021.12.28 (71)申请人国芯微（重庆）科技有限公司