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晶圆支撑装置及晶圆支撑装置的使用方法.pdfVIP

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  • 2023-05-05 发布于四川
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晶圆支撑装置及晶圆支撑装置的使用方法.pdf

    本发明揭露一种晶圆支撑装置，包含一支撑盘及一遮蔽环，其特征在于支撑盘形成有多个气孔，且当所述遮蔽环耦接于所述支撑盘时，所述支撑盘和遮蔽环之间形成一排气通道，藉此当所述多个气孔供气至所述排气通道时，所述晶圆与所述承载面之间形成一流动气垫以减轻所述晶圆与所述承载面之间的摩擦。此外，本发明还提供一种晶圆支撑装置的使用方法。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114300408 A (43)申请公布日 2022.04.08 (21)申请号 202111614054.3 (22)申请日 2021.12.27 (71)申请人 拓荆科技股份有限公司

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