金属-钛氧化物复合颗粒膜巨自旋霍尔角材料及制备方法.pdfVIP

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2023-05-05 发布于四川
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金属-钛氧化物复合颗粒膜巨自旋霍尔角材料及制备方法.pdf

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一种金属‑钛氧化物复合颗粒膜巨自旋霍尔角材料，属于自旋电子新材料技术领域。所述巨自旋霍尔角材料为生长于基片之上的金属‑钛氧化物复合薄膜；所述金属‑钛氧化物复合薄膜中，钛氧化物的摩尔百分比为1mol％～20mol％，金属的摩尔百分比为80mol％～99mol％。本发明提供的金属‑钛氧化物复合颗粒膜巨自旋霍尔角材料及制备方法和应用，方法简单易行，制备得到的金属‑钛氧化物复合薄膜相对于纯的金属薄膜，其室温下的自旋霍尔角度显著增加(铂‑氧化钛薄膜的室温自旋霍尔角度可达1.6，比纯铂的自旋霍尔角0.15提

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114335328 A (43)申请公布日 2022.04.12 (21)申请号 202111432783.7 C23C 14/08 (2006.01) (22)申请日 2