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一种光刻机掩膜版的智能存取方法.pdfVIP

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  • 2023-05-05 发布于四川
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一种光刻机掩膜版的智能存取方法.pdf

    本发明公开了一种光刻机掩膜版的智能存取方法，包括以下步骤：S1、提供一个智能存取装置；S2、将各种规格的掩膜版放置在对应的掩膜版盒中；S3、将各掩膜版盒放入到对应的收纳盒中，其对应关系通过操作面板进行存储；S4、抽气风机启动；S5、从操作面板中输入所要取出掩膜版的规格；S6、电控柜驱动顶推机构移动到收纳盒的后方；S7、顶推机构动作将该收纳盒推出；S8、取出该收纳盒中的掩膜版盒并关闭收纳盒。该智能存取方法能够更好更迅速的存取掩膜版，避免灰尘的附着，避免掩膜版放错。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114287753 A (43)申请公布日 2022.04.08 (21)申请号 202111515215.3 A47B 97/00 (2006.01) (22)申请日 2

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